真空沉積設備由許多精密零件組成，這些零件是通過許多加工工藝制成的，如焊接、研磨、車削、刨削、鏜孔、銑削等工藝。由于這些任務，設備部件的表面不可避免地會受到加工帶來的油脂、油污、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物的污染。這些污染物在真空條件下容易揮發(fā)，從而影響設備的最終真空度。真空擴散焊接加工原理圖片高清視頻

此外，這些機械過程帶來的真空污染物在大氣壓環(huán)境中吸附了大量氣體，在真空狀態(tài)下，這些先前吸附的氣體也會再次釋放，成為限制真空系統(tǒng)最終真空度的主要因素。因此，在組裝真空沉積機零件之前，必須清除污染物。

在使用真空設備的過程中，其部件也可能受到污染。然而，這種污染源主要由兩個因素引起：使用條件和真空泵。真空擴散焊接加工原理圖片高清視頻

1.真空計的燈絲在高溫條件下蒸發(fā)，會導致陶瓷絕緣體上形成薄膜，破壞其絕緣強度，對其測量精度有一定影響；

2.由于高溫蒸發(fā)，真空中電子槍燈絲附近的表面會形成金屬膜；真空擴散焊接加工原理圖片高清視頻

3.由于工件濺射，離子束刻蝕設備內(nèi)壁可能被飛濺物污染；

4.真空蒸發(fā)鍍膜設備的內(nèi)壁會被其蒸發(fā)目標材料污染；

5.經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng)，可能會被蒸發(fā)的物質污染；

6.真空沉積設備中的擴散泵油、機械泵油等是污染的主要來源。涂布機工作很長時間后，設備內(nèi)部可能會形成油膜。

綜上所述，設備的真空衛(wèi)生涉及真空設備、真空系統(tǒng)、真空工藝生產(chǎn)等方面和環(huán)節(jié)，以及真空沉積設備本身和特殊真空工藝對使用條件的要求。因此，真空污染是一個值得關注的問題，因為這些污染會影響設備的性能，因此應注意定期或隨時清潔。