擴(kuò)散焊接時(shí)，必須保證連接面及連接的金屬不受空氣影響，必須在真空或惰性氣體介質(zhì)中進(jìn)行。最常用的方法是真空擴(kuò)散焊接。真空擴(kuò)散焊接包括高頻、輻射、接觸電阻、可以通過(guò)電子束及輝光放電等方法對(duì)工件進(jìn)行局部或整體加熱；工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用的擴(kuò)散焊接設(shè)備主要采用感應(yīng)和輻射加熱的方法。

擴(kuò)散焊接設(shè)備由真空室、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、溫度和真空度的檢測(cè)及控制裝置等組成。任何加熱方式的擴(kuò)散焊接設(shè)備主要由以下幾個(gè)部分組成：

①真空室及真空系統(tǒng)

真空室越大，要想達(dá)到和維持一定的真空度，對(duì)所需真空系統(tǒng)的要求就越高。真空室必須有由耐高溫材料包圍的均勻加熱區(qū)域，才能穩(wěn)定地維持設(shè)定的溫度。真空室外殼需要冷卻。真空系統(tǒng)一般是擴(kuò)散泵和機(jī)械泵。由。機(jī)械泵只能達(dá)到1.33?！?0-3Pa的真空度，添加擴(kuò)散泵可達(dá)到1.33×10-4～1.33×10-6Pa的真空度可以滿足材料擴(kuò)散焊接的要求。真空度越高，越有利于被焊材料表面雜質(zhì)和氧化物的分解和蒸發(fā)，促進(jìn)界面擴(kuò)散順利進(jìn)行。但真空度越高，抽真空時(shí)間越長(zhǎng)。根據(jù)真空度，低真空（<1.33 10-2Pa）、可分為中真空（1.33 10-3~1.33）×10-4 Pa），高真空（>1.33 10-5 Pa）。

②加熱系統(tǒng)

一般由感應(yīng)線圈和高頻電源組成。根據(jù)不同的加熱要求，輻射加熱可以選擇鎢、鉬或石墨作為加熱體，經(jīng)過(guò)高溫輻射對(duì)工件進(jìn)行加熱。根據(jù)加熱方式分為感應(yīng)加熱、輻射加熱、接觸加熱等。

③加壓體系

真空擴(kuò)散焊接過(guò)程一般要施加一定的壓力。由于高溫下材料的屈服強(qiáng)度較低，為了避免構(gòu)件的整體變形，加壓只會(huì)在接觸面產(chǎn)生微觀的局部塑性變形。擴(kuò)散焊接施加的壓力較小，壓力強(qiáng)度可以在1~100MPa范圍內(nèi)變化，只有在材料的高溫塑性變形抗力較大、加工表面較粗糙或擴(kuò)散焊接溫度較低時(shí)，才會(huì)使用較高的壓力，目前主要采用液壓和機(jī)械加壓系統(tǒng)。

④測(cè)量和控制系統(tǒng)

目前應(yīng)用的真空擴(kuò)散焊接機(jī)都配備了溫度、壓力、真空度和時(shí)間的控制系統(tǒng)。溫度可以在20~2300℃進(jìn)行測(cè)量和控制，溫度控制的精度為±（5~10）℃。壓力的測(cè)量和控制一般通過(guò)壓力傳感器進(jìn)行。

⑤水冷系統(tǒng)

一般通過(guò)水循環(huán)系統(tǒng)冷卻。擴(kuò)散焊接設(shè)備在啟動(dòng)前要連接水冷循環(huán)。擴(kuò)散焊接設(shè)備種類繁多。